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三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人 SANKYO真空機(jī)器人

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品牌: SANKYO
真空度(Pa): 1.33×10-2
自由度: 5-AXIS(all AC-servo controlled)
動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜): 2400
單價(jià): 面議
所在地: 廣東 廣州市
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2023-02-22 08:57
瀏覽次數(shù): 622
詢價(jià)
店鋪基本資料信息
 
產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
 廣州市廣科智能技術(shù)有限公司擁有大量二手SANKYO三協(xié)真空機(jī)器人,如:三協(xié)真空機(jī)器人SR8651、三協(xié)真空機(jī)器人SR8652……歡迎全國(guó)各地理工機(jī)電***、工廠采購(gòu)、工業(yè)機(jī)器人培訓(xùn)機(jī)構(gòu)來(lái)電咨詢?cè)斍椋瑑r(jià)格優(yōu)惠。

 三協(xié)真空機(jī)器人

三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人SR8651參數(shù):

真空度(Pa):1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜):2400;

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜):250/450;

可動(dòng)范圍「θ軸」(deg):+140~-185;

***大速度「RR/RL軸」(㎜/sec):3370;

***大速度「Z 軸」(㎜/s):300;

***大速度「θ軸」(rads/s):2.09;

***大速度「重復(fù)精度」(㎜):+/-0.2

***大速度「噪音」(dB):80 or less

***大速度「基板尺寸」(㎜):~1100×1300 t=3.1~5.2/~1300×1500 t=0.5~1.1/~1500×925 t=0.5~1.1

 

三協(xié)雙臂真空搬運(yùn)機(jī)器人SR8652參數(shù):

真空度:1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜):2720;

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜):465(Solar)/670(LCD);

動(dòng)作范圍「θ軸」(deg):+140~-185;

***大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec):2474;

***大速度「Z 軸」(㎜/s):400;

***大速度「θ軸」(rads/s):2.09;

***大速度「重復(fù)精度」(㎜):+/-0.2;

***大速度「噪音」(dB):80 or less;

***大速度「基板尺寸」(㎜):1100×1300 t=4~5(Solar);

***大速度「基板尺寸」(㎜):~1500×1850 t=0.5~1.1(LCD)

 

真空機(jī)器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和液晶工業(yè)中,實(shí)現(xiàn)晶圓或玻璃基板在真空腔室內(nèi)的運(yùn)輸。真空搬運(yùn)機(jī)器人由于不使用氣體真空吸附系統(tǒng)和氣缸等,因此搬運(yùn)時(shí)保持晶圓在機(jī)器手上的穩(wěn)定比較困難。因此,此前只能以150~200枚/時(shí)的速度搬運(yùn)晶圓。此次,通過(guò)改進(jìn)保持晶圓穩(wěn)定的真空內(nèi)的夾具,即使高速搬運(yùn),機(jī)器手上的晶圓也不會(huì)錯(cuò)位。這樣,可***大限度發(fā)揮真空機(jī)器人的搬運(yùn)速度。三協(xié)真空機(jī)器人可以在10-7 pa的真空環(huán)境下運(yùn)行。耐溫達(dá)200工。此系列真空機(jī)器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧稀?/span>

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