Whiteknight白騎士PEM 050電動(dòng)計(jì)量泵，Whiteknight隔膜式計(jì)量泵
White Knight 計(jì)量泵提供在單晶片處理工具或預(yù)混容器使用，以確保一定濃度的化學(xué)混合物，并且允許在原位直接在頭部混合調(diào)節(jié)流速。 泵是在高純化學(xué)品的適用分配補(bǔ)充，混合，計(jì)量等應(yīng)用，以及清洗CVD設(shè)備和光刻。 他們是理想的光致抗蝕劑，蝕刻和清洗工藝，食人魚過氧化混合物扣球，和之前推出基板化學(xué)混合物進(jìn)入處理槽等混合。
PEM 050電動(dòng)計(jì)量泵
PEM 050電動(dòng)計(jì)量?jī)x特性
PEM050泵有Teflon PTFE液體通路可準(zhǔn)確地分配1至50毫升的腐蝕性液體為補(bǔ)充、混合、計(jì)量、和強(qiáng)化的程序。 使用TeflonPTFE活動(dòng)的膜片、較高的出口壓力可以安全可靠的輸送化學(xué)品。位置控制閥確保精度減緩脈沖,特別是單向閥。 PEM050泵可提供多達(dá)5個(gè)出液口,以編程系統(tǒng)和邏輯獨(dú)立控制。
· 電控可調(diào)式行程
· 配液量高達(dá)50毫升
· 高精度泵具有高達(dá)±0.01%重復(fù)性
· 允許60-80psi壓力
· 可編程序系統(tǒng)邏輯
· 2到6接口配置
特點(diǎn)與優(yōu)點(diǎn)
· 完全可調(diào)的行程速度
· 安全、無泄漏操作，不需要維護(hù)
· 無暴露的金屬防止腐蝕和污染
· 高純度化學(xué)品完全包攬Teflon® PTFE流體通道
· PP外殼的Teflon® PTFE材質(zhì)的旋轉(zhuǎn)膜片
· 易于安裝和檢查
· 嵌入或外掛的組件易于安裝和維護(hù)
· 易于安裝在任意方向
· 潔凈室內(nèi)組裝，測(cè)試及包裝
· 泄漏檢測(cè)口
· 自吸式
· 占用空間小
· 極限小的保持量
· 正面的進(jìn)/出口閥可防止氣體通過
技術(shù)參數(shù)
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泵型號(hào)
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PEM050
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液分配
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1-50 ml per stroke
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測(cè)量重復(fù)度
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± 0.01% (Full Scale)
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每分鐘循環(huán)次數(shù)
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≤ 6 CPM
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每個(gè)循環(huán)內(nèi)空氣的消耗量
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1-3 SCFM
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流通管路材質(zhì)
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PTFE
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閥門控制驅(qū)動(dòng)氣體的壓力
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4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 psi)
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排液壓力
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5.51 Bar (80 psi)
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溫度范圍
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≤ 100°C (212°F)
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重量
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1.6 kg (3.5 lb)
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吸升高度
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4.6 m (15 ft)
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漏液檢測(cè)
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Valve Position Sensing
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通信
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Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
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