NX系列無(wú)塵機(jī)器人被設(shè)計(jì)為與兩個(gè)或三個(gè)300mm的FOUP配合使用，而不需要使用軌道。NX系列在設(shè)計(jì)上與NS系列類(lèi)似，但是附加的獨(dú)立軸更換了RTZ動(dòng)作設(shè)計(jì)，顯著增加了NX的運(yùn)動(dòng)范圍。
NX系列機(jī)器人:
NX510 2鏈接，單手臂
NX520 2鏈接，雙手臂
NX5403鏈接，單手臂
無(wú)塵機(jī)器人外設(shè):
卓越的伸展距離單個(gè)的NX系列手臂可以達(dá)到2或3個(gè)FOUP而不需要線性軸。該手臂被設(shè)計(jì)為高剛性，以及可以利用窄間距訪問(wèn)晶圓臺(tái)以及FOUP中的任意位置。高吞吐量NX系列實(shí)現(xiàn)了利用雙臂機(jī)械手，如NX520，從FOUP到校準(zhǔn)器然后到平臺(tái)200晶圓每小時(shí)（WPH）的吞吐量。SEMI F47合規(guī)NX型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。SEMI S2合規(guī)NX型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測(cè)軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專(zhuān)用設(shè)備的損壞。
NX系列機(jī)器人規(guī)格
| 型號(hào) |
NX510 |
NX520 |
NX540 |
| 構(gòu)造 |
水平多關(guān)節(jié)型 |
| 自由度 |
4 軸 |
5 軸 |
4 軸 |
| 鏈接 |
2 |
2 |
3 |
| 運(yùn)動(dòng)范圍 |
θ 軸
(旋轉(zhuǎn)JT2) |
330° |
330° |
318° |
| 440 mm |
440 mm |
440 mm |
Z 軸
(上下JT3) |
832 mm |
832 mm |
1,232 mm |
| 336° |
336° |
336° |
X 軸
(前后JT4) |
- |
336° |
- |
W 軸 - 下
(旋轉(zhuǎn)JT6) |
W 軸 - 上
(旋轉(zhuǎn)JT7) |
| 重復(fù)性 |
± 0.1 mm （晶圓中心） |
±0.25 mm |
| 無(wú)塵度*1 |
ISO 1級(jí) |
| 控制柜 |
D60/D61 (規(guī)格見(jiàn)無(wú)塵控制柜) |
*1: 于川崎的無(wú)塵間內(nèi)測(cè)得
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