繼成功推出CRIUS® II-L后，愛思強11月8日宣布MOCVD反應器的產能再上一層樓。19x4英寸規格的新型CRIUS® II-XL反應器產能超卓，產量及產能均問鼎世界之最。此外，CRIUS II-XL具備了同級設備中最優化的運作成本和占地效益。

　　CRIUS® II-XL主要采用CRIUS® II-L的硬件配置。“需要更換的組件只有一項，就是襯托器底板。更換該部分以后，反應器的產能將大大提高，而且基本上無需額外成本”愛思強Close Coupled Showerhead® （CCS）近耦合技術噴淋頭反應器技術的項目經理Johannes Lindner博士表示，“這是讓CRIUS® II-L盡可能順利升級成CRIUS® II-XL的其中一個關鍵設計標準。除此之外，只需作出極少的工藝調整就能升級至CRIUS® II-XL。”

　　此款CRIUS®反應器系列的最新機型同樣是根據市場需求（尤其是針對發光二極管制造成本）進行詳盡分析后研發而成。“市場對高成本效益的發光二極管制造需求強烈，而我們深知MOCVD對降低成本意義重大，”愛思強營銷副總裁Rainer Beccard博士表示，“眾多參數當中，反應器的產能對總體擁有成本的影響最大。因此，我們決定設計出19x4英寸規格的反應器。這一反應器已由愛思強應用實驗室進行全面檢測，確保除了出眾的產能以外，其一致性及良率也無可挑剔�？梢赃x擇使用2英寸到8英寸之間任何尺寸的晶圓，硬件上只需簡單的更換石墨盤，不需要其它硬件或工藝上的調整。”

　　CRIUS®II-XL是愛思強CCS產品系列的最新出品，實驗證明，該產品可在長達數年的時間內提供最佳的生產穩定性并保持良好運作。MOCVD系統的標準功能包括反應器在位的高度調整，以便在任何工藝環境下都可以選擇最優化的反應器結構，該系統還配備獨特的ARGUS在位監測設備。